| Аннотация: | 1. Криогенный ввод, содержащий теплообменник с держателем объекта, расположенный в вакуумной камере, соединенный с первым трубопроводом для подачи хладогента и, по меньшей мере, одним вторым трубопроводом для отвода хладогента, которые в свою очередь подключены к источнику хладогента, расположенному снаружи вакуумной камеры, причем места соединения трубопроводов с вакуумной камерой выполнены в виде первой и второй теплоразвязок, а второй трубопровод подсоединен к экрану, экранирующему первый трубопровод и теплообменник, отличающийся тем, что экран установлен с возможностью экранирования также и держателя объекта, а теплообменник содержит рабочие камеры, расположенные последовательно и разделенные стенками с отверстиями, причем первая камера соединена с первым трубопроводом, а последняя с, по меньшей мере, одним вторым трубопроводом, при этом камеры заполнены теплопроводящим наполнителем, а держатель объекта закреплен непосредственно на теплообменнике.
2. Криогенный ввод для сканирующего зондового микроскопа по п.1, отличающийся тем, что в него введены пружинные прижимы, закрепленные на экране и сопряженные с держателем объекта или объектом.
3. Криогенный ввод для сканирующего зондового микроскопа по п.1, отличающийся тем, что теплообменник подвешен на пружинах в вакуумной камере.
4. Криогенный ввод для сканирующего зондового микроскопа по п.1, отличающийся тем, что проходная площадь отверстий в стенках между рабочими камерами увеличивается по мере удаления от центра теплообменника.
5. Криогенный ввод для сканирующего зондового микроскопа по п.1, отличающийся тем, что рабочие камеры содержат перегородки, увеличивающие длину проходного отверстия.
6. Криогенный ввод для сканирующего зондового микроскопа по п.1, отличающийся тем, что теплопроводящий наполнитель выполнен в виде шариков.
7. Криогенный ввод для сканирующего зондового микроскопа по п.1, 6, отличающийся тем, что шарики соединены между собой таким образом, что между зонами соединения существуют сквозные отверстия.
|